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真空计

电压皮拉尼复合真空变送规

来源:上海瓷熙 发布时间:2018-11-14 13:21 作者:admin 浏览

    PRN11由差压式MEMS压电传感器和皮拉尼传感器集成组成,两个传感器在测量上实现无缝过渡。它具有集成一体的电子控制线路、数字通讯系统、模拟电压输出和作为工艺控制的两个设定点。  

    连续真空工艺设备通常都将真空锁作为持续抽空主腔体的界面,当真空锁处于大气压时或高真空时,需要一个独立的传动器来指示指示阀的开启方向。PRN11结合MEMS压电与皮拉尼各自的优点形成一个集成的,紧凑的组件,即实现了大气压附件高精度、快反应、高重复的压力测量,又拥有大气压到0.001Pa的宽量程,是理想的真空锁控制压强传感器。
   特点
   压电差压单元与皮拉尼复合宽量程。
   内置温度补偿,高精度
   双控制点设定开关
   一键大气/真空校准
   电压型模拟量输出
   支持RS485通讯Modbus-RTU协议
   电接口
   D-SUB 9针(公)插头

      主要技术指标

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